レーザ光の波長を制御する方法およびレーザ装置

摘要

レーザ光の波長を制御する方法を提供する。レーザ光の波長を制御する方法は、レーザ光の絶対波長を計測するステップと、レーザ光の基準波長と前記レーザ光の絶対波長との差を算出するステップと、前記レーザ光の絶対波長を計測する間隔よりも短い間隔で前記レーザ光の基準波長と前記レーザ光の絶対波長との差に基づいて前記レーザ光の基準波長を調整するステップとを含むものであってもよい。