| 摘要 |
現像性及び耐熱性に優れた変性ノボラック型フェノール樹脂、その製造方法、感光性組成物、レジスト材料及び永久膜を提供すること。下記構造式（１）［式中、Ａｒは下記構造式（２−１）又は（２−２）（式中ｋは０〜２の整数、ｐは１〜５の整数、ｑは１〜７の整数であり、Ｒ３は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン原子の何れかである。）で表される構造部位であり、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれアルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン原子の何れかであり、ｍ、ｎはそれぞれ１〜４の整数である。］で表される芳香族化合物（Ａ）とアルデヒド化合物（Ｂ）とを縮合して得られるノボラック型フェノール樹脂（Ｃ）が有するフェノール性水酸基の水素原子の一部乃至全部が酸解離性基で置換された分子構造を有することを特徴とする変性ノボラック型フェノール樹脂。 |
