| 摘要 |
【課題】離型フィルムにしわやたるみなどが発生しないようにして樹脂封止する。【解決手段】下型１１を、周面部材９と底面部材１０とによって構成する。周面部材９の外周に沿って環状の外周吸着溝１６を設ける。外周吸着溝１６の内側に複数の主凹部１８を形成する。複数の主凹部１８に主吸着溝２０を有する組み込み用の主部材２１をはめ込んで装着する。主吸着溝２０の断面は、開口部が幅広でＶ字形になるように形成される。外周吸着溝１６の内面に離型フィルム１５が吸着された状態において、離型フィルム１５を主吸着溝２０に吸着する。このことによって、離型フィルム１５に均一な張力を加える。複数の主吸着溝２０の内面に離型フィルム１５が吸着された状態において、キャビティ１３の型面に沿って離型フィルム１５を吸着する。したがって、離型フィルム１５にしわやたるみなどが発生することを防止できる。【選択図】図２ |
