发明名称 |
13族窒化物結晶の製造方法および13族窒化物結晶の製造装置 |
摘要 |
【課題】クラック発生の低減を図り、結晶製造の歩留まり向上を図る。【解決手段】アルカリ金属と13族元素とを含む混合融液と、窒素とを反応させて種結晶からフラックス法により13族窒化物結晶を製造する13族窒化物結晶の製造方法において、前記混合融液を保持する反応容器として、窒化物を主材料とし、0.1wt%〜20.0wt%の酸化物材料を含有した反応容器を用いることを特徴とする。【選択図】図1 |
申请公布号 |
JP2017036180(A) |
申请公布日期 |
2017.02.16 |
申请号 |
JP20150158492 |
申请日期 |
2015.08.10 |
申请人 |
株式会社リコー |
发明人 |
佐藤 隆;三好 直哉;和田 純一;林 昌弘;皿山 正二 |
分类号 |
C30B9/06;C30B29/38;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B9/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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