发明名称 13族窒化物結晶の製造方法および13族窒化物結晶の製造装置
摘要 【課題】クラック発生の低減を図り、結晶製造の歩留まり向上を図る。【解決手段】アルカリ金属と13族元素とを含む混合融液と、窒素とを反応させて種結晶からフラックス法により13族窒化物結晶を製造する13族窒化物結晶の製造方法において、前記混合融液を保持する反応容器として、窒化物を主材料とし、0.1wt%〜20.0wt%の酸化物材料を含有した反応容器を用いることを特徴とする。【選択図】図1
申请公布号 JP2017036180(A) 申请公布日期 2017.02.16
申请号 JP20150158492 申请日期 2015.08.10
申请人 株式会社リコー 发明人 佐藤 隆;三好 直哉;和田 純一;林 昌弘;皿山 正二
分类号 C30B9/06;C30B29/38;H01L21/208 主分类号 C30B9/06
代理机构 代理人
主权项
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