露光装置用光照射装置及びその点灯制御方法

摘要

【課題】光源部の交換時間及び装置のダウンタイムを短縮することができる露光装置用光照射装置及びその点灯制御方法、並びに露光装置、露光方法及び基板を提供する。【解決手段】光照射装置８０は、ランプ７１とランプから発生された光に指向性をもたせて射出する反射鏡７２をそれぞれ含む複数の光源部７３と、所定数の光源部をそれぞれ取り付け可能な複数のカセット８１と、複数のカセットを取り付け可能な支持体８２と、を備える。【選択図】図４