摘要 |
반도체 소자가 개시된다. 기판 상의 선택 라인 및 상기 기판과 상기 선택 라인 사이의 워드 라인들을 포함하는 전극 구조체와, 상기 전극 구조체를 관통하여 상기 기판에 연결되는 수직 기둥들과, 상기 수직 기둥들 상에 차례로 제공되고 상기 수직 기둥들과 전기적으로 연결되는 보조 배선들 및 비트 라인들과, 상기 수직 기둥들과 상기 보조 배선들을 연결하는 하부 콘택들이 제공된다. 상기 선택 라인은 상기 기판의 상면에 평행한 제 1 방향으로 분리된 복수의 선택 라인들을 포함하되, 상기 보조 배선들을 중 하나에 공통적으로 연결되는 상기 하부 콘택들의 중심축들은 그 아래에 배치된 상기 수직 기둥들의 중심축으로부터 상기 제 1 방향과 교차되고 상기 기판의 상면에 평행한 제 2 방향으로 공통적으로 쉬프트된다. |