| 摘要 |
본 발명에 따른 압전 액츄에이터 및 이의 구동 방법에서, 압전 액츄에이터는 압전체, 압전체의 제1 측면에 서로 맞물리는(interdigitated) 형태로 배치되고 서로 반대 극성의 전압이 인가되는 한 쌍의 전극 패턴들 및 제1 측면의 반대 측면인 제2 측면에 제1 측면의 전극 패턴들과 투영된 형태로 마주하고 서로 맞물리는 형태로 배치되며 서로 반대 극성의 전압이 인가되는 한 쌍의 전극 패턴들을 포함하고, 제1 측면의 제1 압전 활성 영역의 분극 방향은 제2 측면의 제2 압전 활성 영역의 분극 방향과 반대이며, 압전체를 기준으로 서로 투영된 형태로 마주하는 전극 패턴들에는 동일 극성의 전압이 인간된다. |
