レーザ変位測定装置及びレーザ変位測定方法

摘要

【課題】スペックルの影響を抑えて測定精度の向上を図ることができるレーザー変位測定装置及びその方法を提供する。【解決手段】レーザ光Ｓの位相を位相変調手段７によりランダムに変化させて測定面Ｔに照射し、測定面Ｔで反射された反射光Ｒの重心位置を位置検出素子１１により検出する。検出された重心位置は重心位置平均化手段１３により平均化される。平均化することにより重心位置が正規分布に近づき、異常振幅が減少するため、スペックルの影響が小さくなって測定精度が向上する。【選択図】 図２