| 摘要 |
【課題】専用の光量計測装置あるいは光源を用いる場合と比較して、発光光量及び受光感度の補正が簡易に行える計測装置及びプログラムを提供する。【解決手段】照射光を発光する発光部１４と、照射光の発散度合いを変える第１のレンズ３２と、照射光を絞る絞り部４０と、絞り部を通過した照射光を集光し光軸に平行な方向から対象物ＯＢに照射する第２のレンズ３４と、照射光が対象物に照射されて反射し第２のレンズを透過した反射光の一部を受光する受光部１６と、受光部の受光結果を用いて対象物を計測する計測手段２０と、対象物に替えて配置されると共に、照射光に対する角度を可変とされた反射体と、反射体の照射光に対する傾斜角を変化させることにより受光部における受光位置を変え、受光位置ごとの受光結果を用いて発光部及び受光部の補正を行う補正手段と、を含む。【選択図】図１ |
