摘要 |
作動油加熱源としてヒータ線を用いたときの問題を解消できる油蒸気発生器を備えた油拡散ポンプを提供する。ケーシング51内に油蒸気発生器70が配置され、この油蒸気発生器70を作動させることで作動油8を蒸気化して油蒸気とし、この油蒸気をジェット53,53aから噴射して吸入気体を排気動作する真空ポンプである。油蒸気発生器70は、立設方向に延在する、被加熱材料からなる筒部材71の下端を閉塞させた、内部に油を貯留するための容器71,72と、絶縁材料73を介して筒部材71(特にケース内壁71b)の大気側周囲に巻回された誘導コイル75と、誘導コイル75に数10Hzから数100Hzの低周波交流を印加する給電手段とを備える。そして、給電手段を作動させコイル75に低周波交流を印可することによって筒部材71自体を加熱させ、容器内の油を蒸気化させるように構成した。 |