ペリクル膜及びペリクル

摘要

ＥＵＶ光に対する高い透過性を有し、実用上十分な物理強度と耐久性を有すると共に、膜破片を容易に除去でき、且つ生産性に優れたペリクル膜及びペリクルを提供する。ペリクル膜１は、炭素多孔体膜で構成されており、膜厚Ｄが１００ｎｍ〜６３μｍである。