| 摘要 |
【課題】光検出装置での波長依存性を抑えながら、高い光検出効率を実現する技術を提供する。【解決手段】光検出装置１０は、光電子増倍管１１と、反射部材１３を備えている。光電子増倍管１１は、受光面である光電面１２を有していて、入射窓１１ａは、光を透過する部材からなる窓部材である。光電面１２は、入射窓１１ａを介して光を受光し電荷に変換する。反射部材１３は、例えば、光電子増倍管１１に反射面を向けたミラーである。これにより、入射窓１１ａを透過することなく反射した光が再び入射窓１１ａへ入射して光電面１２で受光される。【選択図】図２ |
