| 摘要 |
【課題】意図する効果に応じた態様で過酸化水素供給を行う。【解決手段】基板液処理装置は、硫酸と過酸化水素水との混合液が貯留され、貯留された混合液に基板が浸漬されて基板の処理が行われる処理槽と、前記処理槽から流出した混合液を受ける外槽と、前記外槽内の混合液を前記処理槽に戻す循環ラインと、前記混合液中に硫酸を供給する硫酸供給部と、前記外槽内の混合液に過酸化水素水を供給する第１過酸化水素水供給部と、前記循環ラインの下流側部分を流れる混合液に過酸化水素水を供給する第２過酸化水素水供給部とを備える。【選択図】図２ |
