脆性材料基板の搬送ヘッド

摘要

【課題】縦方向及び横方向に整列して形成され、ブレイクされた機能領域を有する基板のうち、機能領域をそのまま搬送できる搬送ヘッドを提供すること。【解決手段】搬送ヘッド２０はヘッド部３０とヘッド部３０を上下動自在に保持するスライド機構とを有している。ヘッド部３０は下面にベースプレート３１とベースプレートと共に空隙を有するリッドプレート３２が設けられる。機能領域を吸引するときには開口３６から空気を吸引して所定の場所に搬送する。【選択図】図３