露光装置、露光方法及びデバイス製造方法

摘要

【課題】液浸領域を所望状態に維持して良好に露光処理できる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置ＥＸは、投影光学系ＰＬと液体ＬＱとを介して基板Ｐ上に露光光ＥＬを照射して、基板Ｐを露光するものであって、液体ＬＱを供給するとともに液体ＬＱを回収する液浸機構１を備え、液浸機構１は、基板Ｐの表面と対向するように形成された斜面２を有し、液浸機構１の液体回収口２２が、斜面２に形成されている。【選択図】図１