一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法

摘要

本发明公开了一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法，先将多孔金属钽阳极置于在6‰的稀磷酸形成液中，然后将磷酸形成液升温至85℃，形成电压升至100V赋能1小时后取样放入真空干燥箱1小时；将热处理后的样品放入真空管式炉中，抽真空至10^‑3Pa，对第一阶段的阳极薄膜进行热处理，热处理温度为320℃，热处理时间为2小时；将第一阶段热处理结束后的阳极薄膜置于赋能槽中进行赋能，在85℃磷酸形成液中赋能到设计电压125V，取出样品进行第二阶段热处理，将样品放入真空管式炉中，抽真空至10^‑3Pa后冲入氮气氛中；在氮气氛中热处理温度为340℃，热处理20分钟后补形成，从而获得漏电流较小的钽电解电容器阳极。

主权项

一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法，其特征在于：该方法是将电化学薄膜生长和热处理工艺分为两个阶段，第一阶段在电化学生长过程的中段，第二阶段在薄膜达到设计的形成电压之后，其具体方法步骤如下：(1)、先将多孔金属钽阳极置于6‰的稀磷酸形成液中，然后将磷酸形成液升温至85℃，形成电压升至100V赋能1小时后取样放入真空干燥箱1小时；所述多孔钽金属阳极的容量为270μF～500μF；(2)、将干燥处理后的样品放入真空管式炉中，抽真空至10^‑3Pa，对第一阶段的阳极薄膜进行热处理，热处理温度为320℃，热处理时间为2小时；(3)、将如步骤(2)所述的第一阶段热处理结束后的阳极薄膜置于赋能槽中进行赋能，在85℃磷酸形成液中赋能到设计电压125V，取出样品进行第二阶段热处理，将样品放入真空管式炉中，抽真空至10^‑3Pa后充入氮气氛中；(4)、在如步骤(3)所述的氮气氛中调节热处理温度为340℃，热处理20分钟后补形成；所述第一阶段在电化学生长过程的中段是指在85℃磷酸形成液中将形成电压升至100V赋能1小时后取样；第二阶段在薄膜达到设计的形成电压之后是指在85℃磷酸形成液中赋能到设计电压125V取样。