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Die Erfindung betrifft eine Abstandshalter-Verstellvorrichtung (30) für eine Wafer-Belichtungseinheit (10), mit einem Aktor (34), einem Abstandshalter (32), der vom Aktor (34) zwischen einer aktiven und einer inaktiven Position verstellt werden kann, und einem Kraftübertragungselement (48), das mit dem Aktor (34) gekoppelt ist, wobei das Kraftübertragungselement (48) aus Draht besteht. Die Erfindung betrifft auch eine Wafer-Belichtungseinheit (10) mit einer solchen Abstandshalter-Verstellvorrichtung. |
