发明名称 防汚処理組成物、処理装置、処理方法および処理物品
摘要 The present invention provides: a surface treatment agent for nitrided surfaces, which contains a fluorine-containing compound that has, at an end of each molecule, a carbon-carbon unsaturated bond as a group represented by -Y-A (wherein Y represents a single bond, an oxygen atom or a divalent organic group; and A represents -CH=CH2 or -C≡CH); and a surface treatment method which uses this surface treatment agent for nitrided surfaces.
申请公布号 JP6081637(B2) 申请公布日期 2017.02.15
申请号 JP20160075575 申请日期 2016.04.05
申请人 ダイキン工業株式会社;東京エレクトロン株式会社 发明人 伊丹 康雄;布瀬 暁志;乙骨 円華;木下 秀俊;深澤 辰哉
分类号 C09K3/18;C03C17/42;C09D5/00;C09D5/16;C09D7/12;C09D171/00 主分类号 C09K3/18
代理机构 代理人
主权项
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