发明名称 |
硅片多线切割后的脱胶工装 |
摘要 |
硅片多线切割后的脱胶工装,包括槽体,其特征在于,所述槽体的两侧安装有侧耐腐蚀硅胶防护挡条,侧耐腐蚀硅胶防护挡条的两端设置有工装侧板,支撑横梁安装在槽体的上面,加工夹具均布布设在支撑横梁的中间,所述槽体的底部设置有下耐腐蚀硅胶防护挡皮,所述槽体的内部均布布设有分检隔板。本发明的有益效果:本发明整根硅棒装框脱胶,可完成约2000片硅片生产量,该装置的投入使用,大大提高了用户生产效率,整个脱胶过程无需人工接触硅片,做到了过程管控,将合格率提升到了98%,降低了碎片率,提高了经济效益,适合推广使用。 |
申请公布号 |
CN106409972A |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
申请号 |
CN201610851593.1 |
申请日期 |
2016.09.27 |
申请人 |
张家港市港威超声电子有限公司 |
发明人 |
李枫 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 |
代理人 |
赵丽丽 |
主权项 |
硅片多线切割后的脱胶工装,包括槽体(10),其特征在于,所述槽体(10)的两侧安装有侧耐腐蚀硅胶防护挡条(5),侧耐腐蚀硅胶防护挡条(5)的两端设置有工装侧板(4),支撑横梁(1)安装在槽体(10)的上面,加工夹具均布布设在支撑横梁(1)的中间,所述槽体(10)的底部设置有下耐腐蚀硅胶防护挡皮(6),所述槽体(10)的内部均布布设有分检隔板(7)。 |
地址 |
215618 江苏省苏州市张家港市欧洲工业园 |