气体传感器、阵列及其制造方法

摘要

本发明涉及气体传感器、阵列及其制造方法。一种用于制造气体传感器的方法，其包括将处理电路(36)集成至气体传感器芯片(3)，将加热器(34)集成至气体传感器芯片以及向气体传感器芯片(3)施加敏感材料以构建对气体敏感的层(31)的步骤。将多个气体传感器芯片(3)安装到载体(2)上，其中，公共载体(2)包括若干接触垫组(200)。每个接触垫组(200)对多个气体传感器芯片(3)中的一个电接触，其中，每个组(200)中的接触垫(22‑27)中的一个是电源接触垫(25)，从而向对应的气体传感器芯片(3)的处理电路(36)提供电流。通过电互连器(251)对一组电接触垫(250)电互连。

主权项

一种用于制造气体传感器的方法，包括如下步骤：‑将处理电路(36)集成到气体传感器芯片(3)内或者使处理电路(36)与气体传感器芯片(3)集成，‑将加热器(34)集成到气体传感器芯片(3)内，‑将敏感材料施加至气体传感器芯片，以构建对气体敏感的层，‑将气体传感器芯片(3)安装到载体(2)上，所述载体(2)是被配置为接纳多个气体传感器芯片(3)的公共载体(2)，其中所述公共载体(2)包括接触垫(22‑27)的组(200)，其中每个接触垫的组(200)与多个气体传感器芯片(3)中的一个气体传感器芯片电接触，其中每个组(200)中的接触垫(22‑27)中的一个接触垫是电源接触垫(25)，以用于将电流提供给对应的气体传感器芯片(3)的处理电路(36)，‑通过电互连器(251)使电源接触垫(250)的组电互连，‑向所述组(250)中的电源接触垫(25)中的至少一个电源接触垫施加电流，并且通过互连器(251)向所述组(250)中的所有电源接触垫(25)施加电流，以用于向对应的处理电路(36)施加电流，‑响应于施加所述电流，通过对应的处理电路(36)对集成到对应的气体传感器芯片内的电源控制器加以控制，以及‑响应于控制所述电源控制器，实现对加热器(34)的电流供应，以用于对对应的敏感层(31)退火。