超声波器件、压电器件、超声波测定装置及电子设备

摘要

本发明提供了具有期望的刚性且小型的超声波器件、压电器件、超声波测定装置及电子设备。超声波器件(24)具有：元件基板(41)，设置有呈阵列状配置多个超声波换能器(51)而成的超声波换能器阵列(50)；密封板(42)(阵列对置板)，接合于元件基板(41)，至少覆盖超声波换能器阵列(50)；以及支承基板(23)，支承元件基板(41)和密封板(42)中的至少任一个，支承基板(23)具有贯通孔(232)(插入部)，至少密封板(42)的局部插入贯通孔(232)。

主权项

一种超声波器件，其特征在于，具备：元件基板，设置有呈阵列状配置多个超声波换能器而成的超声波换能器阵列；阵列对置板，接合于所述元件基板，至少覆盖所述超声波换能器阵列；以及支承基板，支承所述元件基板和所述阵列对置板中的至少任一个，所述支承基板具有插入部，至少所述阵列对置板的局部插入所述插入部。