一种半原位XPS样品转移装置

摘要

本实用新型涉及一种半原位XPS样品转移装置，其特征在于：包括样品托和样品罩，在所述样品托的顶部设置有环形定位凸台，在所述样品罩的底部设置有圆形卡槽，所述样品罩扣置在所述样品托上且所述圆形卡槽与所述环形定位凸台卡合，在所述圆形卡槽与所述环形定位凸台之间设置有密封圈，在所述样品罩上设置有抽真空管，在所述抽真空管中设置有真空旋塞阀。本实用新型能够使样品从制备完成到进入能谱仪器的整个过程不予空气环境进行接触，从而保证测量数据的有效性和准确性。

主权项

一种半原位XPS样品转移装置，其特征在于：包括样品托和样品罩，在所述样品托的顶部设置有环形定位凸台，在所述样品罩的底部设置有圆形卡槽，所述样品罩扣置在所述样品托上且所述圆形卡槽与所述环形定位凸台卡合，在所述圆形卡槽与所述环形定位凸台之间设置有密封圈，在所述样品罩上设置有抽真空管，在所述抽真空管中设置有真空旋塞阀。