发明名称 一种金属化薄膜专用环保型真空镀膜机
摘要 本实用新型涉及一种金属化薄膜专用环保型真空镀膜机,包括卷绕室和镀膜室,镀膜室中还设置有最少三层过滤板,过滤板上设置有多个正三角形的通孔,镀膜室的外壁设置有检修口,检修口的外侧设置有盖板,过滤板和真空接管之间设置有多个下挡板和多个上挡板,下挡板和上挡板相互交错。该金属化薄膜专用环保型真空镀膜机利用过滤板、下挡板、上挡板协同配合,将蒸镀剩余的铝蒸气在排出从真空接管前被凝结、过滤,从真空接管排出的气流对后续的真空泵影响低;由于铝蒸气在过滤板、下挡板、上挡板上凝结,不但解决铝粉清理难的难题,而且过滤板、下挡板、上挡板可二次回收利用,避免产生浪费和环境污染,节能环保。
申请公布号 CN205954103U 申请公布日期 2017.02.15
申请号 CN201620923653.1 申请日期 2016.08.24
申请人 铜陵市铜创电子科技有限公司 发明人 沈艺辉
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 主分类号 C23C14/56(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种金属化薄膜专用环保型真空镀膜机,包括卷绕室(1)和镀膜室(30),所述卷绕室(1)中设置有放卷辊(2)、放膜过渡辊(3)、第一张力调节辊(4)、第一展平辊(5)、冷却辊(6)、压辊(7)、第二张力调节辊(8)、导辊(9)、第二展平辊(10)、牵引辊(11)和收券辊(12),所述镀膜室(30)中设置有蒸发坩埚(13),蒸发坩埚(13)设置在冷却辊(6)的正下方,蒸发坩埚(13)的一侧设置有送铝丝机构(14),所述镀膜室(30)的外侧设置有真空接管(15),真空接管(15)与镀膜室(30)连通,其特征在于:所述镀膜室(30)中还设置有最少三层过滤板(31),相邻的过滤板(31)之间设置有间隙,过滤板(31)上设置有多个正三角形的通孔(311),所述镀膜室(30)的外壁设置有检修口,检修口的外侧设置有盖板(32),盖板(32)与镀膜室(30)的外壁之间通过螺栓固定连接,过滤板(31)的一侧与盖板(32)固定连接;所述过滤板(31)和真空接管(15)之间设置有多个下挡板(34)和多个上挡板(35),下挡板(34)和上挡板(35)相互交错,所述下挡板(34)包括下竖部(341)和下横部(342),下竖部(341)的下端与镀膜室(30)的底壁固定连接,下竖部(341)的上端与下横部(342)的一端固定连接,下横部(342)与镀膜室(30)的顶壁之间设置有间隙;所述上挡板(35)包括上竖部(351)和上横部(352),上竖部(351)的上端与镀膜室(30)的顶壁固定连接,上竖部(351)的下端与上横部(352)的一端固定连接,上横部(352)与镀膜室(30)的底壁之间设置有间隙。
地址 244000 安徽省铜陵市石城大道中段879号官塘社区501室