全自动真空电子枪镀膜装置

摘要

本发明公开了一种全自动真空电子枪镀膜装置，包括真空室，及垂直安装在真空室内的电子枪，该电子枪所对应于装载物料的电子枪坩埚；其特征是，包括有一输送带，该输送带穿过真空室位于电子枪的上方；所述的电子枪沿输送带横截面方向按间隔排列至少一排以上且分布多只的电子枪。本发明采用一排或多排的电子枪镀膜，可以满足产品不同规格的要求。另外，通过设置的移动输送带，可有效形成连续自动化生产，可提高生产效率达80平方米/小时，同时又降低了生产成本，及满足在任何形成的基片上镀制各种金属及氧化物、非金属膜层。解决了传统镀膜技术要求不同，每次间歇工作时间长，镀膜效率低，不能形成连续生产能力的问题。

主权项

一种全自动真空电子枪镀膜装置，包括真空室，及垂直安装在真空室内的电子枪，该电子枪所对应于装载物料的电子枪坩埚；其特征是，包括有一输送带（4），该输送带（4）穿过真空室（5）位于电子枪（6）的上方；所述的电子枪（6）沿输送带（4）横截面方向按间隔排列至少一排以上且分布多只的电子枪。