| 发明名称 | 纳米粒子‑聚合物抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 一种复合材料，其是包含以下各者的掺和物：包含核心和围绕所述核心的涂层的纳米粒子；和聚合物，其中所述纳米粒子的所述涂层包含配体，其中所述配体是被取代或未被取代的C<sub>1</sub>‑C<sub>16</sub>羧酸或其盐、被取代或未被取代的C<sub>1</sub>‑C<sub>16</sub>氨基酸或其盐、被取代或未被取代的膦酸C<sub>1</sub>‑C<sub>16</sub>二烷酯或其组合；并且其中所述聚合物是以下的聚合产物：包含可聚合基团的光酸产生剂；至少一种不饱和单体，其不同于所述包含可聚合基团的光酸产生剂；和式(I)的链转移剂；<img file="DDA0001057138190000011.GIF" wi="774" he="303" />其中：Z是y价的C<sub>1‑20</sub>有机基团，x是0或1，并且R<sup>d</sup>是被取代或未被取代的C<sub>1‑20</sub>烷基、C<sub>3‑20</sub>环烷基、C<sub>6‑20</sub>芳基或C<sub>7‑20</sub>芳烷基。 | ||
| 申请公布号 | CN106406026A | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201610587085.7 | 申请日期 | 2016.07.22 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限责任公司;昆士兰大学 | 发明人 | J·W·萨克莱;M·西奥沃;P·特雷福纳斯三世;I·布莱基;A·K·惠特克 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;C08F220/14(2006.01)I;C08F220/38(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 主权项 | 一种复合材料，其是包含以下各者的掺合物：包含核心和围绕所述核心的涂层的纳米粒子；和聚合物，其中所述纳米粒子的所述涂层包含配体，其中所述配体是被取代或未被取代的C<sub>1</sub>‑C<sub>16</sub>羧酸或其盐、被取代或未被取代的C<sub>1</sub>‑C<sub>16</sub>氨基酸或其盐、被取代或未被取代的膦酸C<sub>1</sub>‑C<sub>16</sub>二烷酯或其组合；并且其中所述聚合物是以下的聚合产物：包含可聚合基团的光酸产生剂；至少一种不饱和单体，其不同于所述包含可聚合基团的光酸产生剂；和式(I)的链转移剂；<img file="FDA0001057138160000011.GIF" wi="702" he="310" />其中：Z是y价的C<sub>1‑20</sub>有机基团，x是0或1，并且R<sup>d</sup>是被取代或未被取代的C<sub>1‑20</sub>烷基、C<sub>3‑20</sub>环烷基、C<sub>6‑20</sub>芳基或C<sub>7‑20</sub>芳烷基。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||