| 发明名称 | 一种用于MCZ法拉制单晶硅的降氧装置 | ||
| 摘要 | 一种用于MCZ法拉制单晶硅的降氧装置，是由转轴和叶片组成的搅拌器装置，转轴为下粗上细的变径式轴杆，叶片均匀分布固定安装在转轴的下端头上，转轴的上端头为单晶炉中轴石墨夹头连接头。有益效果在于：相比其他降氧方式和手段，能耗低，操作简单，见效快，有效避免了单晶头部氧含量偏高的问题；并且结合单晶炉的其它常规降氧可进一步提高单晶硅棒拉制降氧效果，提高了单晶硅棒利用率，降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN205954149U | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201620946021.7 | 申请日期 | 2016.08.25 |
| 申请人 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 发明人 | 柯小龙;周小渊;陈娟;苏波;钟朋格;马占东 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人 | 马长增;姚源 |
| 主权项 | 一种用于MCZ法拉制单晶硅的降氧装置,其特征在于：由转轴(31)和叶片(32)组成的搅拌器装置，转轴(31)为下粗上细的变径式轴杆，叶片(32)均匀分布固定安装在转轴(31)的下端头(311)上，转轴(31)的上端头(312)为单晶炉中轴石墨夹头(3)连接头。 | ||
| 地址 | 755100 宁夏回族自治区中卫市中宁县新堡镇团结南路 | ||