| 摘要 |
가동 선반(21)과, 가동 선반(21)을 하강시키는 승강 장치(22)를 포함하는 기판 공급 장치(2)와, 기체를 위쪽으로 취출하는 1 이상의 취출구(35)를 포함하며, 취출구는 승강 장치에 의해 가동 선반을 하강시키면 취출구에서 취출되는 기체의 압력에 의해 가동 선반에 지지되어 있는 기판이 부상하도록 구성되어 있는 부상 장치(3)와, 반송 컨베이어(40)와, 반송 컨베이어에 세워진 돌출부(41)를 포함하며, 취출구에서 취출되는 기체의 압력에 의해 부상하고 있는 기판(W)을 돌출부가 반송 방향으로 밀도록 구성되어 있는 반송 장치(4)를 구비한다. |
