原子氧束流能量测试系统

摘要

本发明公开了一种地面模拟设备中原子氧束流能量测试系统，包括真空容器，原子氧束流输入窗口、粒子偏离电极、粒子准直口、速度切割器、二维移动机构、抽气系统、控制系统、气体过滤系统和质谱仪，真空容器一侧壁上设置有原子氧束流输入窗口，另一侧壁上设置有质谱仪，原子氧束流经粒子偏离电极作用偏转原子氧束流中的带电粒子，并通过粒子准直口限定原子氧束流的飞行方向，飞行方向上设置有速度切割器以对原子氧束流能量进行筛选，速度切割器支撑在二维移动机构进行二维运动，速度切割器由控制系统控制其转速、相位，二维移动机构由控制系统控制其运动。

主权项

一种地面模拟设备中原子氧束流能量测试系统，包括用于提供真空环境的真空容器，原子氧束流输入窗口、粒子偏离电极、粒子准直口、速度切割器、二维移动机构、抽气系统、控制系统、气体过滤系统和用于粒子成分诊断的质谱仪，真空容器一侧壁上设置有原子氧束流输入的输入窗口，输入窗口相对的真空容器另一侧壁上设置有质谱仪，原子氧束流经输入窗口附近设置的粒子偏离电极作用偏转原子氧束流中的带电粒子，并通过粒子准直口限定原子氧束流的飞行方向，原子氧束流的飞行方向上设置有速度切割器以对原子氧束流能量进行筛选，速度切割器支撑在二维移动机构上并随其进行二维运动，速度切割器由控制系统控制其转速、相位，二维移动机构由控制系统控制其运动；真空容器还设置有抽气系统和去除残余低能粒子的气体过滤系统，其中，真空容器用于提供10^‑2～10^‑5Pa的真空环境。