发明名称 |
一种高速饱和单行载流子紫外光电二极管及制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种高速饱和单行载流子紫外光电二极管及制备方法,该光电二极管包括衬底,所述衬底上依次生长有n型AlGaN外延层、p型AlGaN外延层和p型GaN接触层;所述n型AlGaN外延层上设有n型接触电极,所述p型GaN接触层上设有p型接触电极。本发明只采用电子作为有源载流子的高速、高速饱和输出,使得紫外光电二极管具备了高响应速率和高速饱和电流,同时获得了高量子效率,并减少了紫外光电二极管的损耗等特点;而且制作工艺简单、成本低、易于实现。 |
申请公布号 |
CN106409965A |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
申请号 |
CN201611052134.3 |
申请日期 |
2016.11.24 |
申请人 |
聊城大学 |
发明人 |
范鑫烨;白成林;张霞;房文敬;王欢欢;王秋国 |
分类号 |
H01L31/102(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/102(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
汤财宝 |
主权项 |
一种高速饱和单行载流子紫外光电二极管,其特征在于,包括衬底,所述衬底上依次生长有n型AlGaN外延层、p型AlGaN外延层和p型GaN接触层;所述n型AlGaN外延层上设有n型接触电极,所述p型GaN接触层上设有p型接触电极。 |
地址 |
252000 山东省聊城市聊城大学物理科学与信息工程学院 |