一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手

摘要

本发明公开了一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手，晶圆盒包括盒体和把手，把手俯视大体呈U字形，机械手包括手爪、定位传感器以及锁紧机构，手爪侧视大体呈J字形，定位传感器设置在手爪的非弯钩一侧并与搬运控制器通讯，锁紧机构包括锁紧块、锁紧驱动单元以及锁紧控制器，锁紧块设置在手爪的弯钩一侧，锁紧驱动单元驱动锁紧块上下运动，锁紧块上行以使其下端远离手爪的弯钩自由端或下行以使其下端抵靠在手爪的弯钩自由端。该机械手体积小、结构紧凑、带视觉识别和传感检测功能，并在机械结构上配置有物料锁紧机构。可保证机械手能够准确可靠地抓取晶圆盒，在搬运过程中可避免晶圆盒滑落，有助于实现高效可靠地作业。

主权项

一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手，所述晶圆盒定位于载物台上，所述晶圆盒包括盒体和把手，所述把手俯视大体呈U字形，所述把手的两自由端分别连接在所述盒体的外侧面上，其特征在于，所述机械手包括：手爪，所述手爪侧视大体呈J字形；定位传感器，所述定位传感器设置在所述手爪的非弯钩一侧并与搬运控制器通讯，所述搬运控制器分别控制搬运驱动单元驱动机械臂动作和控制所述定位传感器在移动过程中对设置在所述载物台上的定位件进行检测以得到检测到的反馈，所述搬运控制器根据检测到的反馈发出执行抓取动作的指令；锁紧机构，所述锁紧机构包括锁紧块、锁紧驱动单元以及锁紧控制器，所述锁紧块设置在所述手爪的弯钩一侧，所述锁紧驱动单元驱动所述锁紧块上下运动并与所述锁紧控制器通讯，所述锁紧控制器与所述搬运控制器通讯，所述锁紧块上行以使其下端远离所述手爪的弯钩自由端或下行以使其下端抵靠在所述手爪的弯钩自由端。