扩散炉用进气管组

摘要

本实用新型公开了一种扩散炉用进气管组，其属于用于生产太阳能电池片的零部件，包括第一直管、第二直管、L型弯管，第一直管的一端为封闭端，另一端为开口端；第二直管设置在第一直管的外管壁上，并与该第一直管相连通；L型弯管的水平管段从第一直管的封闭端穿过，并从开口端穿出。上述进气管组，第二直管设置在第一直管的外壁上，供物质进入；L型弯管中水平段穿过第一直管后从该第一直管的开口端穿出，小氮和磷源从L型弯管中竖直段流入，再从L型弯管中水平段流出，从而可提高扩散的片子的磷源均匀性，也使得扩散方阻和方差得以改善，对电池片的效能也有提高，更有助于扩散的片子形成良好的PN结，以便提升太阳能电池片的电性能。

主权项

一种扩散炉用进气管组，其特征在于，包括：第一直管，其一端为封闭端，另一端为开口端；第二直管，其设置在所述第一直管的外管壁上，并与该第一直管相连通；L型弯管，其水平管段从所述第一直管的封闭端穿过，并从开口端穿出。