| 摘要 |
静電容量型センサ（１）は、エラストマー製の誘電層（２０）と、誘電層（２０）を厚さ方向に挟んで配置され各々に電極層（０１Ｘ〜０８Ｘ、０１Ｙ〜０８Ｙ）を有する一対の電極ユニット（３０、４０）と、を備え、電極層（０１Ｘ〜０８Ｘ、０１Ｙ〜０８Ｙ）が誘電層（２０）を介して対向する部分に感圧部（Ｄ）が設定される。０ＭＰａより大きく０．０１５ＭＰａ以下の圧力範囲において、静電容量型センサ（１）の感度は７．５×１０−１１Ｆ／ＭＰａ以上７．５×１０−１０Ｆ／ＭＰａ以下であり、誘電層（２０）は次式（Ｉ）で示される圧力−ひずみ曲線を満足する。Ｐｋ＝ε０×Ｓ／（ｄ０×ａ）×｛εｒｋ／（１−ｋ）−εｒ０｝ ・・・（Ｉ） |
