发明名称 |
包括半导体光源的加热系统 |
摘要 |
本发明描述了一种将物体(150,950)的加热表面(180)加热到至少100℃的处理温度的加热系统(100)和对应方法,其中所述加热系统(100)包括半导体光源(115),并且其中所述加热系统(100)被适配成用至少50个半导体光源(115)同时对加热表面(180)的面积元件进行加热。加热系统(100)可以是用于处理半导体结构的反应器的一部分。借助于半导体光源(115)发射的光在加热表面(180)处重叠。一个单个半导体光源(115)的特性的差异可以在加热表面(180)处被模糊,使得可能够实现例如跨晶片的处理表面的均匀温度分布。 |
申请公布号 |
CN106415810A |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
申请号 |
CN201580004780.X |
申请日期 |
2015.01.09 |
申请人 |
皇家飞利浦有限公司 |
发明人 |
H.梅恩奇;G.H.德拉;S.格龙恩博恩;P.佩卡斯基;J.S.科布;R.G.康拉德斯 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
初媛媛;景军平 |
主权项 |
一种用于将物体(150,950)的加热表面(180)加热到至少100℃的处理温度的加热系统(100),其中所述加热系统(100)包括半导体光源(115),并且其中所述加热系统(100)被适配成用至少50个半导体光源(115)同时对加热表面(180)的面积元件进行加热,其特征在于半导体光源(115)是垂直腔面发射激光器,其中所述加热系统(100)被适配成对加热表面(180)进行加热,使得晶片(960)的处理表面(980)的第一部分的第一局部温度与不同于处理表面(980)的第一部分的、所述晶片(960)的处理表面(980)的第二部分的第二局部温度偏差小于0.5%,其中所述半导体光源(115)被布置在子模块(110)中,所述加热系统(100)包括电驱动器(450),并且所述电驱动器(450)被适配成同时驱动一个子模块(110)中的所有半导体光源(115),并且其中所述子模块(110)和/或电驱动器(450)被布置为使得所述晶片(960)的处理表面(980)被均匀地加热到定义的温度。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |