| 发明名称 | 用于展开柔性基板的辊、用于对柔性基板进行处理的设备和其操作方法 | ||
| 摘要 | 描述一种用于在真空腔室中处理柔性基板的处理设备。所述处理设备包括：处理滚筒，所述处理滚筒用于当在所述处理滚筒上引导所述柔性基板时，处理所述柔性基板；辊布置，所述辊布置具有一或多个辊，所述一或多个辊被配置成当在所述处理滚筒上引导所述柔性基板前，沿所述一或多个辊的一或多个圆周的一部分接触所述柔性基板，其中沿所述一或多个辊的一或多个圆周的一或多个部分的组合接触长度为270毫米或更大，并且其中沿所述一或多个辊的一或多个圆周的一或多个部分中的每个部分的单独接触长度为500毫米或更小；以及温度调节元件，所述温度调节元件调节所述一或多个辊的温度。 | ||
| 申请公布号 | CN106414795A | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201480073930.8 | 申请日期 | 2014.01.22 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | A·索尔;F·里斯;T·德皮施 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 侯颖媖 |
| 主权项 | 一种用于在真空腔室中处理柔性基板(110)的处理设备(100)，所述处理设备包括：处理滚筒(106)，所述处理滚筒用于当在所述处理滚筒上引导所述柔性基板时，处理所述柔性基板；辊布置，所述辊布置具有一或多个辊(104；200)，所述一或多个辊被配置成当在所述处理滚筒上引导所述柔性基板之前，沿所述一或多个辊的一或多个圆周的一部分接触所述柔性基板，其中沿所述一或多个辊的所述一或多个圆周的一或多个部分的组合接触长度(40)为270毫米或更大，并且其中沿所述一或多个辊的所述一或多个圆周的所述一或多个部分中的每个部分的单独接触长度(40)为500毫米或更小；以及一或多个温度调节元件，所述一或多个温度调节元件调节所述一或多个辊的温度。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||