发明名称 |
一种氮化铝原料的纯化装置及纯化方法 |
摘要 |
本发明公开了一种氮化铝原料的纯化装置及纯化方法,所述纯化装置包括保温层、发热筒、隔离坩埚和原料坩埚;其中,氮化铝原料装填到所述原料坩埚内并封装;所述原料坩埚放置在所述隔离坩埚内;所述隔离坩埚放置在所述发热筒内;所述保温层包裹在所述发热筒的外侧。本申请的纯化装置可在粉料纯化工艺过程中最大限度地降低引入其它杂质的现象发生,在原料坩埚与发热筒之间放置隔离坩埚可以有效地将碳等其它元素阻隔在原料坩埚外,此不但可以延长原料坩埚的使用寿命,也可以降低碳元素进入氮化铝原料中。 |
申请公布号 |
CN106395770A |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
申请号 |
CN201610511213.X |
申请日期 |
2016.06.30 |
申请人 |
北京华进创威电子有限公司 |
发明人 |
程章勇 |
分类号 |
C01B21/072(2006.01)I |
主分类号 |
C01B21/072(2006.01)I |
代理机构 |
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 |
代理人 |
马知非;沈耀冲 |
主权项 |
一种氮化铝原料的纯化装置,其特征在于,所述纯化装置包括保温层、发热筒、隔离坩埚和原料坩埚;其中,氮化铝原料装填到所述原料坩埚内并封装;所述原料坩埚放置在所述隔离坩埚内;所述隔离坩埚放置在所述发热筒内;所述保温层包裹在所述发热筒的外侧。 |
地址 |
101111 北京市通州区经济技术开发区通惠干渠路17号院 |