基板升降杆致动器

摘要

本文中描述的实施方案提供一种升降杆致动器。所述升降杆致动器具有外壳。所述外壳具有内部容积。轨道设置在所述内部容积中并耦接到所述外壳。中心轴至少部分设置在所述外壳的所述内部容积中。导向件可移动地耦接到所述轨道。至少一个内波纹管设置在所述内部容积中，所述内波纹管在所述中心轴与所述外壳之间形成密封。弹性构件设置在所述内部容积中，并配置用于施加使所述中心轴回缩到所述外壳中的力。入口端口被配置成引导流体在所述内波纹管与所述外壳之间进入所述内部容积。所述流体产生反作用于所述弹性构件以使所述中心轴相对于所述外壳伸展的力。

主权项

一种升降杆致动器，包括：外壳，所述外壳具有内部容积；轨道，所述轨道设置在所述内部容积中并耦接到所述外壳；导向件，所述导向件可移动地耦接到所述轨道；中心轴，所述中心轴耦接到所述导向件并且至少部分设置在所述内部容积中；至少一个内波纹管，所述至少一个内波纹管设置在所述内部容积中，所述内波纹管在所述中心轴与所述外壳之间形成密封；弹性构件，所述弹性构件设置在所述内部容积中并配置用于施加使所述中心轴回缩到所述外壳中的弹性力；以及入口端口，所述入口端口被配置成引导流体在所述内波纹管与所述外壳之间进入所述内部容积，从而产生反作用于所述弹性构件以使所述中心轴相对于所述外壳伸展的流体力。