发明名称 一种高压集成电路
摘要 本发明涉及半导体功率器件技术领域,具体的说是涉及一种高压集成互连电路。本发明的高压集成电路,包括通过高压互连线4连接的LDMOS区和高压电路区,所述LDMOS区包括LDMOS源极1、LDMOS漏极2和P型阱区3;所述LDMOS漏极2、P型阱区3、和高压电路区周围设置有高压结终端18;高压互连线4的一端穿过P型阱区3与LDMOS漏极2连接,其另一端与高压电路区连接;其特征在于,所述高压结终端18在P型阱区3处向高压互连线4的两侧内凹。本发明的有益效果为,能有效节省版图面积、简化工艺复杂度,降低器件成本。本发明尤其适用于自屏蔽高压集成互连电路。
申请公布号 CN103928435B 申请公布日期 2017.02.15
申请号 CN201410175912.2 申请日期 2014.04.28
申请人 电子科技大学 发明人 乔明;张昕;文帅;齐钊;黄军军;薛腾飞;张波
分类号 H01L23/52(2006.01)I 主分类号 H01L23/52(2006.01)I
代理机构 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 代理人 李顺德;王睿
主权项 一种高压集成电路,包括通过高压互连线(4)连接的LDMOS区和高压电路区,所述LDMOS区包括LDMOS源极(1)、LDMOS漏极(2)和P型阱区(3);所述LDMOS漏极(2)、P型阱区(3)、和高压电路区外围设置有高压结终端(18);高压互连线(4)的一端穿过P型阱区(3)与LDMOS漏极(2)连接,其另一端与高压电路区连接;其特征在于,所述高压结终端(18)在P型阱区(3)处的两侧内凹,使P型阱区(3)两侧的高压结终端(18)相互靠近。
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号