一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时所采用的硅片夹持装置均为真空式或者电磁式，这两种方式的维修制造成本较高，且结构复杂，不易于维修，存在不足。本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，其中：液压缸内壁与活塞连接，活塞与活塞杆固定连接，活塞杆与推杆固定连接，推杆与导轮活动连接，导轮与导向槽连接，导向槽设于夹爪中部，夹爪顶端通过第一圆柱销与壳体连接，夹爪底端通过第二圆柱销与固定块连接。本装置采用液压驱动的方式，结构简单紧凑，设备维护成本低且易于维修。

主权项

一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，包括壳体（1）、液压缸（2）、活塞（3）、活塞杆（4）、第一圆柱销（5）、推杆（6）、导轮（7）、导向槽（8）、夹爪（9）、第二圆柱销（10）、固定块（11）；其特征在于：液压缸（2）内壁与活塞（3）连接，活塞（3）与活塞杆（4）固定连接，活塞杆（4）与推杆（6）固定连接，推杆（6）与导轮（7）活动连接，导轮（7）与导向槽（8）连接，导向槽（8）设于夹爪（9）中部，夹爪（9）顶端通过第一圆柱销（5）与壳体（1）连接，夹爪（9）底端通过第二圆柱销（10）与固定块（11）连接。