| 发明名称 | 一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时采用的清洗槽均没有清洗液循环过滤装置，长时间清洗后，清洗液含有大量的污物，影响后续的清洗效率，使得硅片清洗不彻底，存在不足。本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其中：槽体内壁固定有超声波振子，槽体通过出水管与第一水泵连通，第一水泵与过滤槽连通，过滤槽通过进水管与第二水泵连通，第二水泵与槽体连通。本装置采用循环过滤的方式，将清洗液中含有的污物循环过滤掉，保持清洗液干净，提高后续的清洗效率。 | ||
| 申请公布号 | CN205949403U | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201620670070.2 | 申请日期 | 2016.06.30 |
| 申请人 | 江西大杰新能源技术有限公司 | 发明人 | 支秉旭 |
| 分类号 | B08B3/14(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，包括槽体（1）、超声波振子（2）、出水管（3）、第一水泵（4）；其特征在于：槽体（1）内壁固定有超声波振子（2），槽体（1）通过出水管（3）与第一水泵（4）连通，第一水泵（4）与过滤槽（6）连通，过滤槽（6）通过进水管（7）与第二水泵（8）连通，第二水泵（8）与槽体（1）连通。 | ||
| 地址 | 335400 江西省鹰潭市贵溪市经济开发区 | ||