多晶金刚石复合感压薄膜、其制备方法及电容薄膜真空规

摘要

本发明涉及一种多晶金刚石复合感压薄膜、其制备方法及电容薄膜真空规，属于真空测量技术领域。所述复合感压薄膜由衬底及衬底单侧表面分布的多晶金刚石薄膜组成；衬底为硅片、铝片、钛片或不锈钢片，多晶金刚石薄膜通过MPCVD在衬底上生长得到。通过用金刚石粉对衬底表面研磨粗糙后，真空下预热，通氢气，调真空度，微波激发氢气起辉，通甲烷和氮气，调整微波功率，加热进行多晶金刚石薄膜沉积，得到所述复合感压薄膜。可实现不同基底上生长多晶金刚石薄膜作为复合感压薄膜，耐受各种温度下氧化性酸及腐蚀性气体，克服了传统感压薄膜膜片变形导致的测量误差，多晶金刚石薄膜机械性能好，有助于扩展电容薄膜真空规测量范围及灵敏度。

主权项

一种多晶金刚石复合感压薄膜，其特征在于：所述复合感压薄膜由衬底及衬底单侧表面分布的多晶金刚石薄膜组成；衬底为硅片、铝片、钛片或不锈钢片，多晶金刚石薄膜通过微波等离子体化学气相沉积法在衬底上生长得到。