用于基板处理腔室中的冷却式处理工具配接器

摘要

本文提供用于基板处理腔室中的冷却式处理工具配接器的实施方式。在一些实施方式中，冷却式处理工具配接器包括：环绕开口的环状主体；设置于环状主体中的冷却剂通道；帮助支撑开口内的处理工具的一或多个特征；设置于环状主体中且与冷却剂通道流体耦接的入口与出口；和与环状主体耦接的电力连接部，该电力连接部具有终端而将环状主体耦接至偏压电源。

主权项

一种冷却式处理工具配接器，包括：环状主体，所述环状主体环绕中央开口；冷却剂通道，所述冷却剂通道设置于所述环状主体中；一或多个特征，所述一或多个特征帮助支撑所述中央开口内的处理工具；入口和出口，所述入口和所述出口设置于所述环状主体中且与所述冷却剂通道流体耦接；及电力连接部，所述电力连接部与所述环状主体耦接，所述电力连接部具有终端而将所述环状主体耦接至偏压电源。