作为全平面源的集成式感应线圈和微波天线

摘要

本公开涉及一种等离子体处理系统，该等离子体处理系统能够利用单个功率源组件来使用同一物理硬件生成感应耦合等离子体(ICP)和表面波等离子体。功率源组件可以包括天线板，天线板可以包括对于射频(RF)功率源被用作ICP线圈而对于微波源被用作槽天线的导电材料。

主权项

一种用于衬底的等离子体处理装置，包括：等离子体处理室；衬底保持器，所述衬底保持器设置在所述等离子体处理室中，所述衬底保持器能够接纳所述衬底；微波功率源，所述微波功率源能够生成微波能量；射频(RF)功率源，所述射频功率源能够生成RF能量；以及槽天线，所述槽天线包括：第一介电部件，所述第一介电部件耦合至所述微波功率源并且能够传输所述微波能量；第二介电部件，所述第二介电部件设置在所述第一介电部件与所述衬底保持器之间；以及金属层，所述金属层设置在所述第一介电部件与所述第二介电部件之间并且耦合至所述射频功率源。