| 摘要 |
본 발명은 유기 발광 표시 장치, 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 기판과 소정 정도 이격되어 기판에 물질을 증착하는 하나 이상의 증착 어셈블리를 포함하는, 증착부를 포함하는 유기층 증착 장치에 있어서, 상기 증착 어셈블리는, 증착물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원에 설치되며, 증착원 노즐이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향하도록 배치되고, 상기 증착물질을 통과시켜 상기 기판의 서로 다른 복수개의 영역에 상기 증착물질이 증착되도록 서로 이격되어 배치된 복수개의 패턴시트를 포함하고, 상기 기판의 서로 다른 복수개의 영역 중 두 영역은 증착의 진행방향과 평행한 영역일 수 있다. |
