自由曲面反射式扫描系统

摘要

本发明涉及一种自由曲面反射式扫描系统，包括：一光源；一光阑；一第一自由曲面反射镜设置在所述光阑远离光源的一侧，用于将所述激光反射，形成一第一反射光；以及一第二自由曲面反射镜设置在所述第一反射光的光路上，用于将所述第一反射光二次反射，形成一第二反射光；所述第一自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的xy多项式曲面，所述第二自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的xy多项式曲面。

主权项

一种自由曲面反射式扫描系统，包括：一光源，用于输出一激光；一光阑，设置在所述激光的出射光路上；一第一自由曲面反射镜设置在所述光阑远离光源的一侧，该第一自由曲面反射镜用于将所述激光反射，形成一第一反射光；以及一第二自由曲面反射镜设置在所述第一反射光的光路上，用于将所述第一反射光二次反射，形成一第二反射光；该第一自由曲面反射镜所处的空间定义一第一三维直角坐标系(X，Y，Z)，所述光阑中心设置在Z轴所在的直线上；该第二自由曲面反射镜所处的空间定义一第二三维直角坐标系(X’，Y’，Z’)，所述第二三维直角坐标系(X’，Y’，Z’)为所述第一三维直角坐标系(X，Y，Z)在YZ平面内沿逆时针方向旋转90度得到，且该第二三维直角坐标系(X’，Y’，Z’)的坐标原点设置在所述第一三维直角坐标系(X，Y，Z)的Y轴所在的直线上，所述第一自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的xy多项式曲面，所述第二自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的x’y’多项式曲面。