一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法

摘要

本发明提供了一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型半球谐振子、外电极、外电极金属焊接板、玻璃基底、金属引线、圆形焊线盘、外电极金属连接柱内电极和种子层。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用内电极和外电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度；本发明为内电极和外电极提供了金属引线及圆形焊线盘，便于信号施加和信号提取。

主权项

一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪，其特征在于，包括：单晶硅基底，中心固定支撑柱，微型半球谐振子，外电极，外电极金属焊接板，玻璃基底，金属引线，圆形焊线盘，外电极金属连接柱，内电极以及种子层；其中：所述中心固定支撑柱的一端与所述单晶硅基底连接、另一端与所述微型半球谐振子连接；所述外电极设置于所述单晶硅基底的下表面，并均匀地分布在所述微型半球谐振子的周围；所述外电极金属焊接板位于所述外电极的下表面，并与所述外电极金属连接柱相连；所述种子层位于所述玻璃基底的上表面；所述金属引线位于所述种子层的上表面，所述金属引线的一端与所述圆形焊线盘连接、另一端与所述外电极金属连接柱或所述内电极相连；所述圆形焊线盘位于所述种子层的上表面；所述内电极设置于所述种子层的上表面，并位于所述微型半球谐振子的内腔；所述外电极金属连接柱的下表面与所述种子层相连、上表面与所述外电极金属焊接板相连，并均匀地分布在所述内电极的外侧。