发明名称 直列式分配容器
摘要 公开了一种流体分配装置。系统包括直列式或直线形囊状部装置,该囊状部装置构造成扩张以收集一定量的流体并且收缩以有助于流体输送及分配。在分配关闭期间,在过程流体被推动通过精细过滤器(微过滤器)之后,过程流体可以收集在该囊状部中。给定的过滤速率可以比分配速率小,并且因而本文中的系统对通常与微型品制造的流体过滤相伴随的过滤器滞后进行补偿,同时提供能够减小缺陷形成的机会的大致直线形构型。
申请公布号 CN106415782A 申请公布日期 2017.02.15
申请号 CN201580005571.7 申请日期 2015.01.21
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 安东·德维利耶;罗纳德·纳斯曼;詹姆斯·格罗特格德;小诺曼·A·雅各布森
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 王艳江;侠晖霞
主权项 一种用于流体输送的装置,所述装置包括:加压流体壳体,所述加压流体壳体限定有压力控制流体入口以及纵向压力控制通道,所述纵向压力控制通道具有流体入口和流体出口,所述加压流体壳体包括压力控制流体入口;囊状部,所述囊状部定位在所述纵向压力控制通道内,所述囊状部具有过程流体入口和过程流体出口,所述过程流体入口与所述加压流体壳体的所述流体入口流体连接,并且所述过程流体出口与所述加压流体壳体的所述流体出口流体连接,所述囊状部在所述过程流体入口与所述过程流体出口之间限定大致直线形的流动路径,所述囊状部构造成在所述纵向压力控制通道内扩张及收缩,使得由所述囊状部限定的容积能够增大及减小,所述囊状部的囊状部长度大于囊状部截面高度;所述纵向压力控制通道构造成容纳围绕所述囊状部的压力控制流体,所述压力控制流体入口构造成使得压力流体能够进入或离开所述纵向压力控制通道;控制器,所述控制器配置成启动压力控制系统,所述压力控制系统选择性地从所述纵向压力控制通道移除压力控制流体以增大所述囊状部的容积,并且所述压力控制系统选择性地增加所述纵向压力控制通道中的压力控制流体以减小所述囊状部的容积。
地址 日本东京都