移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法

摘要

本发明的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。

主权项

一种移动体装置，其具备：第1移动体，可沿着包含彼此正交的第1及第2方向的既定2维平面移动；第2移动体，可沿该第1方向与该第1移动体同步移动；第1测量系，包含标尺及读头中的一方设置在该第1移动体且该标尺与该读头中的另一方设置在该第2移动体的第1编码器系统，根据该读头的输出求出至少于该第2方向的该第1移动体的位置信息；第2测量系，求出该第2移动体于该第1方向的位置信息；以及位置控制系，根据该第1及第2测量系的输出，进行该第1移动体于该2维平面内的位置控制。