发明名称 一种太阳能硅晶片缺陷检测系统及方法
摘要 本发明提供了一种太阳能硅晶片缺陷检测系统,包括:视觉图像采集系统、图像处理系统和分拣系统;所述视觉图像采集系统用于在硅晶片自动生产线上自动采集硅晶片的图像,所述图像处理系统用于分析采集到的硅晶片图像,并对硅晶片图像进行自动识别,并将识别的信号发送至分拣系统,分拣系统用于执行图像处理系统的信号,分拣出有缺陷的硅晶片,并将相同缺陷的硅晶片分拣至相同的分拣箱内,实现硅晶片的精准分拣。本发明还提供了一种基于本发明提供的太阳能硅晶片缺陷检测系统所进行的检测方法,能快速地传送硅晶片以及对硅晶片图像进行缺陷快速检测,满足流水线高速高精度的视觉检测要求。
申请公布号 CN106409711A 申请公布日期 2017.02.15
申请号 CN201610817746.0 申请日期 2016.09.12
申请人 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 发明人 彭博;王华龙;周艳红;杨海东;李力
分类号 H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 北京精金石专利代理事务所(普通合伙) 11470 代理人 刘晔
主权项 一种太阳能硅晶片缺陷检测系统,其特征在于包括:视觉图像采集系统、图像处理系统和分拣系统;所述视觉图像采集系统包括上料机械臂、物料槽、物料台、工业相机、照明光源和传送皮带,所述物料槽固定在物料台台面上,上料机械臂安装在物料槽一侧,传送皮带安装在上料机械臂前方,工业相机安装在传送皮带中部的正上方,照明光源安装在工业相机的正下方;所述图像处理系统包括工控PC机、IO板卡、图像采集卡和图像处理软件,所述IO板卡、图像采集卡和图像处理软件均安装在工控PC机内,所述工业相机的信号输出端与图像采集卡的信号输入端连接,所述工控PC机通过IO板卡的信号输出端与分拣系统连接;所述分拣系统包括分拣机械臂、分拣箱和PLC,所述分拣机械臂安装在传送皮带的末端,分拣箱放置在分拣机械臂的一侧,PLC安装在物料台内置的电控柜内,所述分拣机械臂的信号输入端与PLC的信号输出端连接,PLC通过IO板卡与工控PC机连接。
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