测量太赫兹光束参数的方法

摘要

本发明涉及一种测量太赫兹光束参数的方法。测量太赫兹光束参数的方法包括：获得待测太赫兹光束；控制掩膜片在太赫兹光束的焦平面内移动，并测得太赫兹光束在焦平面内的腰斑半径；控制掩膜片从太赫兹光束的焦平面沿太赫兹光束传播的方向移动，掩膜片每移动一次记录对应的光轴移动量，在光轴移动量的位置处测量掩膜片所在平面内的太赫兹光束的半径；当在光轴移动量的位置处测量的太赫兹光束的半径等于腰斑半径的倍时，计算聚焦深度。通过上述简单的测量太赫兹光束参数的方法，可以快捷方便的测量出影响太赫兹光谱成像空间分辨率的焦点腰斑半径以及聚焦深度，其测得腰斑半径及聚焦深度的精度高、误差小。

主权项

一种测量太赫兹光束参数的方法，其特征在于，包括：获得待测太赫兹光束；控制所述掩膜片在所述太赫兹光束的焦平面内移动，并测得所述太赫兹光束在焦平面内的腰斑半径，其中，所述掩膜片所在的平面与所述太赫兹光束的焦平面共面，所述掩膜片用于切割所述太赫兹光斑；控制所述掩膜片从所述太赫兹光束的焦平面沿所述太赫兹光束传播的方向移动，所述掩膜片每移动一次记录对应的光轴移动量，其中，所述光轴移动量为所述掩膜片到所述焦点位置处的距离；在所述光轴移动量的位置处测量所述掩膜片所在平面内的太赫兹光束的半径；当在所述光轴移动量的位置处测量的太赫兹光束的半径等于所述腰斑半径的倍时，计算所述聚焦深度。