一种多晶硅三氯氢硅汽化器

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅三氯氢硅汽化器，包括汽化器壳体，其内部设有管箱，管箱内设有换热管，所述换热管的一端设有饱和蒸汽入口。另一端设有饱和蒸汽出口，所述壳体的底部设有三氯氢硅进料管口，壳体上方设有三氯氢硅蒸汽出口。该汽化器结合三氯氢硅的理化性质和特定工况，通过由壳程的底部直接进入高温的液相三氯氢硅中，这样的进料结构设计才能保证汽化器的进料管线不发生类似水锤现象而引发管线剧烈振动，确保了汽化器的安全运行。

主权项

一种多晶硅三氯氢硅汽化器，其特征在于：包括汽化器壳体（1），其内部设有管箱（2），管箱（2）内设有换热管（3），所述换热管（3）的一端设有饱和蒸汽入口（31）；另一端设有饱和蒸汽出口（32），所述壳体的底部设有三氯氢硅进料管口（11），壳体上方设有三氯氢硅蒸汽出口（12）。